【半導体】 台湾GudengがEUV Pod専門事業部 EUV露光装置の量産化で
2017-10-31 10:57:34
台湾TSMC(台積電)、韓国サムスン電子(Samsung Electronics)等の半導体ファウンドリ大手が、次世代コア技術の極端紫外線リソグラフィ(EUV)技術の導入を決めたことで、EUV露光に用いるEUV Pod供給の台湾Gudeng(家登)では専門事業部を新設し2018年以降の本格的な商機到来に備えているようだ。

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    【ソース:】TRI