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【半導体】 Chroma ATEの次世代ナノ粒子モニタリングシステムにTSMCが興味
2017-11-29 11:32:56
半導体計測装置・検査システムの台湾Chroma ATE（致茂電子）が先ごろ、台湾工業技術研究院（ITRI）傘下の技術チームを買収して立ち上げたInnovative Nanotechが2018年にも商用化する次世代ナノ粒子モニタリングシステムに、ファウンドリ世界最大手の台湾TSMC（台積電）が興味を示している模様だ。

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    【ソース：】TRI