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【産業動向】 中国SINOSEMIC、VCSEL量産化へ英OIPTのプラズマエッチング装置導入
2018-09-05 11:25:32
垂直共振器面発光型レーザー（VCSEL）研究・開発と製造の中国SINOSEMIC（江蘇省泰州華芯半導体）が、VCSELチップの量産化に向け、英OIPT（Oxford Instruments Plasma Technology）のプラズマエッチング装置を購入した模様だ。

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    【ソース：】TRI