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【半導体】 DRAMもEUV露光採用の動き　EUV PodのGudengに市場注目
2019-06-20 11:41:49
微細化の行き詰まりを受け、DRAM大手各社が極端紫外線リソグラフィ（EUV）露光技術の導入を本格的に検討し始めており、韓国サムスン電子（Samsung Electronics）が競合に先駆けて2019年第4四半期から1zプロセスの生産に採用する模様だ。

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    【ソース：】TRI