【半導体】ASMLの露光装置2025年生産目標 EUV 90台・DUV 600台・High-Na EUV 20台 台湾報道
2024-06-28 11:56:08
台湾の大手経済紙『工商時報』は2024年6月28日付で、台湾と日本の半導体製造装置サプライチェーンの話として、半導体製造装置大手の蘭ASMLが、2025年の生産分として、極端紫外線(EUV)露光装置90
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