【半導体】長江存儲の半導体エッチング装置、中国業者が9台受注
2020-01-15 09:34:31
中国のIT情報メディア『集微網』（2020年1月8日付）によると、半導体製造装置の中国AMEC（中微半導体）は同年1月2日、半導体エッチング装置を9台受注したと表明した。


集微網によると、AMECが受注したのは、19年9月に64層3D NAND型フラッシュメモリを中国で初めて量産化した半導体大手Tsinghua Unigroup（清華紫光集団）傘下のYangtze River Storage Technology（長江存儲）が導入する半導体エッチング装置。報道は、Yangtze River Storageが20年末に生産能力を単月6万枚まで拡大する等、中国がフラッシュメモリの国産化を進める中、中国の設備業者も出荷を伸ばしているとし、AMECでは19年に通年13台に過ぎなかったエッチング装置の受注を、20年は年明け早々の1月に9台獲得したと評した。

集微網は、AMECが先ごろ、5nm（ナノメートル）向けエッチング装置でも、台湾TSMC（台積電）のサプライチェーン入りに成功したと紹介。AMECの尹志尭・董事長兼最高経営責任者（CEO）が、3nm技術の研究・開発（R&D）に同社が1年前から取り組んでいるとした上で、21年初めに試作に取りかかるとのロードマップを示したと紹介した。

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    【ソース：】TRI